特种气体

硅烷

发布时间: 2017-05-22 22:36 

产品属性
硅烷即硅与氢的化合物,是一系列化合物的总称,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更******的硅氢化合物。目前应用**多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。
硅烷作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业, 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层, 并且是迄今世界上****的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现, 包括用于制造******陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成为许多新技术、新材料、新器件的基础。硅烷又以它特有的自燃、******性而著称。硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量,决定了它是一种高危险性的气体。
中文名甲硅烷
英文名Silane
别    称硅烷、四氢化硅、甲硅烷、甲矽烷
化学式SiH4
分子量32.12
CAS登录号7803-62-5
EINECS登录号232-263-4
熔    点-185.0℃
沸    点-111.9℃
水溶性溶于水
密    度1.44g/L(0℃, 1bar)
外    观无色气体
危险性符号易燃 有害 


产品运用
硅烷实用化和目前应用量是作为生产高纯度硅的中间产物,一般称为硅烷法。历来生产高纯度硅的主要方法是三氯氢硅法(西门子法)。
硅烷的又一应用是非晶半导体非晶硅。与单晶半导体材料相比非晶硅的特点是容易形成极薄的(厚度10nm左右)大面积器件,衬底可以是玻璃、不锈钢、甚至塑料,表面可以是平面也可是曲面,因此可以制成各种性能******的器件。

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