特种气体

四氟化碳

发布时间: 2017-05-22 22:21 

  产品属性
  
  气体名称:四氟化碳,纯度:99~99.999,规格容器:40/4/8/10L钢瓶、铝合金瓶
  
  充装量: 30KG ,钢瓶阀门:QF-2:工作压力MPa
  
  物理特性:
  
  在常温 下 , 四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体,挥发性较高,是***稳定的有机化合物之一,在 900 ℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下 缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。
  
  应用:
  
  四氟化碳是目前微电子工业中用量******的等离子蚀刻气体 ,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气, 可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、 控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

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